金淼
,
邹树梁
,
任宇宏
,
唐德文
,
吕希建
材料保护
注入能量对离子注入影响明显,但目前探究注入能量对304不锈钢离子注N层影响报道较少.研究在N剂量相同的情况下,离子注N时不同注入能量(30 ～ 75 keV)对304不锈钢表面改性层的组织及性能的影响.采用离子注入软件SRIM2013模拟离子注入对304不锈钢的注N深度,并采用扫描电镜(SEM)、显微硬度仪、X射线衍射仪(XRD)、万能摩擦磨损试验机对表面改性组织、硬度、相结构、摩擦系数进行测试,并对微观机理进行了分析与讨论.研究表明:在相同剂量下(9.0× 1017 cm-2),在注入能量范围为30～60 keV时,表面生成了γN相.但随着注入能量达到75 keV,304不锈钢表面出现多孔形貌,且硬度、摩擦系数等力学性能下降.经注入能量60 keV注N后,所得注N试样的显微硬度约为基材的1.9倍,摩擦系数有所降低,从基材的0.62下降为注N后的0.32;注入能量60 keV是离子注入的最佳注入能量.
关键词:
离子注入
,
N
,
304不锈钢
,
注入能量
,
耐磨性
陈静
,
王湘
,
董业民
,
郑志宏
,
陈猛
,
王曦
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.002
采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料.测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料.在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI结构形成的影响,使用剖面透射电镜技术(XTEM)和二次离子质谱技术(SIMS)等测试方法对注入样品和退火后样品进行分析.结果表明,表层硅厚度随注入能量增大不断增大;埋层二氧化硅厚度相对独立,仅在超低能(50keV)低剂量情况下厚度出现明显降低;埋层质量(包括界面平整度、硅岛密度等)与注入能量变化相关.
关键词:
低剂量注水
,
注入能量
,
SOI结构
