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采用原子层沉积技术在管道内壁镀铝膜的分析研究

刘恒 , 熊玉卿 , 王济洲

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.014

研究分析了采用原子层沉积技术在大长径比管道内壁镀制铝膜的可行性.首先,建立了管道内壁气体吸附动力学方程,通过分离变量法解吸附动力学方程,计算出反应前驱体在管道内壁达到饱和化学吸附的时间;其次,根据铝晶胞的面心立方结构,计算出每层原子层沉积周期所镀制的铝膜厚度;最后,理论计算能实现正常波导的管道内壁所需要的铝膜最小厚度,得出原子层沉积所要循环的周期数.

关键词: 原子层沉积 , 管道内壁 , 波导 ,

太赫兹QCL技术研究进展

沈昌乐 , 王雪敏 , 黎维华 , 阎大伟 , 赵妍 , 罗跃川 , 彭丽萍 , 吴卫东 , 唐永建

材料导报

综述了太赫兹QCL(THzQCL)有源区结构设计与制备、波导结构设计和频率控制3方面的基本原理及研究进展.THzQCL有源区薄膜厚度、组分和掺杂浓度的精确控制是材料制备过程的关键.通过提高注入电流和器件温度的稳定性可以有效减小THzQCL线宽和提高频率稳定性.随着器件功率和频率特性的提升,THz QCL将在通讯、成像和谱分析等技术领域获得广泛的应用.

关键词: 太赫兹 , QCL , 有源区 , 波导 , 频率稳定性

波导产品镀银层厚度的确定

刘仁志

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2006.03.009

波导类产品的电镀要消耗大量的银.当镀层厚度偏厚时,会使成本增加和带来资源的浪费.根据微波导通的趋肤效应表明,表面镀层厚度与微波的趋肤深度是相关的.通过趋肤深度,可以确定波导产品的镀层厚度.提供了计算的依据和简化计算的方法:这就是将公式中不同金属的各项相对固定的参数,全部经计算后换算成常数,只保留频率为变量.可以方便地求出不同频率的趋肤深度.计算表明,频率越高,镀层的厚度可以越薄.

关键词: 波导 , 镀银 , 镀层厚度 , 趋肤效应

高灵敏Love波传感器及其关键材料

杜晓松 , 蒋亚东 , 杨邦朝 , 胡佳 , 应智花 , 谢光忠

功能材料

Love波传感器是声表面波传感器的一种,其灵敏度最高.对Love波生物、化学传感器的研究现状进行了综述,着重分析了波导材料及其厚度、基板材料及其切向对传感器的灵敏度及温度稳定性的影响关系.指出采用高频谐振型的器件结构并结合聚合物波导的方案可进一步提高Love波传感器的灵敏度.

关键词: Love波传感器 , 波导 , 基板切向 , 灵敏度 , 频率温度系数

三组元光子晶体的宽带隙及缺陷模研究

李晓春 , 肖清武 , 梁宏宇 , 赵保星

材料导报

运用时域有限差分(FDTD)方法计算了GaAs/玻璃/空气三组元光子晶体的透射频谱及缺陷模的传输特征,发现GaAs/玻璃/空气三组元体系的最低完全带隙宽度明显宽于玻璃/空气或GaAs/空气二组元体系,适当调整GaAs/玻璃比例可以得到宽带隙;光子晶体中的缺陷会形成局域模式,线型缺陷形成光波波导;设计适当的组合缺陷,并通过缺陷之间的耦合作用可以实现对光波传播的选择性输出.

关键词: 光子晶体 , 三组元 , 时域有限差分法 , 缺陷 , 波导

平行排列向列相液晶的导波研究

李志广 , 叶文江 , 郭婷婷 , 张志东 , 檀润华

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.06.009

基于透镜扩束系统,应用棱镜耦合技术对液晶层的全漏导模特性进行了研究.采用盒厚为4.6 μm的平行排列向列相液晶盒,其内灌注E7液晶,通过实验给出了平行排列向列相液晶薄层的导波图,进而将实验结果与理论模拟结果进行了比较,理论所预言的液晶波导的导模在实验的导波图上得到了很好的验证.

关键词: 向列相液晶 , 透镜扩束系统 , 导波 , 导模 , 波导

基于声子晶体环形腔的可调声波分插滤波器

许振龙 , 吴福根 , 郭钟宁

人工晶体学报

设计了两个声子晶体线缺陷波导,通过环形谐振腔耦合,构造出声波分插滤波器,可以上传、下载高品质的声波导模.文中采用有限元方法分析声波在平台中的传播,结果表明,采用方柱体为散射体,谐振腔内腔平滑,可以增强谐振腔局域性;适当旋转耦合方柱体,可以增大透射率,当转角30°时透射率最大;利用环形腔体的旋转可以实现对谐振频率的精细调节.这些研究对声波器件的集成设计具有潜在应用.

关键词: 声子晶体 , 谐振腔 , 滤波器 , 波导

长波长半导体激光器波导层设计

高少文 , 曹俊诚 , 封松林

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.023

研究了一种新型的,基于金属/半导体界面等离子体激元的波导结构,从理论上对激射波长在17μm的GaAs-AlGaAs量子级联激光器的波导层设计进行了讨论,分别研究了传统的递变低折射率波导设计和等离子体激元波导设计.结果表明,利用表面等离子体激元进行波导设计,可以降低波导层厚度和提高光场限制因子,从而为长波段(如太赫兹频段)激光器提供了一种有效的波导设计方法.

关键词: 量子级联激光器 , 波导 , 表面等离子体激元

硅基平面波导材料的制作

吴远大 , 张乐天 , 邢华 , 韦占雄 , 郑伟 , 刘国范 , 张玉书

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.034

采用火焰水解法(FHD)在Si 基上淀积SiO2预制材料,然后在真空中/空气气氛中高温处理(1380℃),制得玻璃化的SiO2 膜材料;该材料膜厚适中(10~30μm)、平整度好、光滑透明,适合制作单模、多模列阵平面波导光栅.并利用XRD、SEM、台阶仪等仪器对SiO2 膜进行了测试分析.

关键词: 火焰水解法(FHD) , 波导 , 玻璃态SiO2

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