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热解条件对热解碳沉积模式和形貌的影响

尹洪峰 , 徐永东 , 张立同

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.05.011

以丙烯为源物质氩气为稀释气体,研究了沉积温度、丙烯流量、系统总压对沉积物形貌的影响. 利用晶体成核-生长理论解释了各种形貌的成因. 实验证明随着沉积温度的升高、系统总压的增大,热解碳的沉积由表面化学反应成核-生长模式向熔滴模式和气相成核-生长模式过渡. 沉积温度不同丙烯流量对沉积模式影响规律不同. 沉积模式随沉积条件的改变决定了热解碳沉积物形貌的改变.

关键词: 热解碳 , 沉积条件 , 沉积模式 , 丙烯