张玉姣
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刘庆锁
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卢明超
材料导报
使用模具并采用磁控溅射法在铁电陶瓷PZT基体上沉积具有条形分布结构的NiTi SMA薄膜.显微组织结构观察发现,以条形分布结构方式沉积的NiTi SMA薄膜晶化处理后具有等轴晶结构.比较所制备PZT/NiTi SMA薄膜复合材料与纯PZT的介电常数及介电损耗发现,两者的介电损耗水平接近;复合材料的介电常数比纯PZT的提高约18%.NiTi SMA的沉积使基体中靠近薄膜区域的Zr/Ti物质的量比恰好落在准同型相界区内,致使所制备复合材料的介电性能优于纯PZT.
关键词:
NiTi
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SMA薄膜
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沉积方式
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等轴晶
,
介电性能
