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热壁CVD制备铂薄膜的沉积室内壁材料选择研究

李颖 , 胡劲 , 武晋文 , 王玉天 , 于晓东 , 谭成文

稀有金属材料与工程

选择合适的沉积室内壁材料是热壁化学气相沉积制备Pt薄膜过程中降低前驱体在沉积室内壁上大量消耗,进而保证沉积室内Pt前驱体分压的关键.本研究对比了Pt在镍基高温合金,备选沉积室内壁材料——有氧化层的Cu以及紫铜表面的沉积的难易程度,发现在有氧化层的Cu的表面Pt薄膜很难沉积,因此当镍基高温合金为沉积基...

关键词: Pt薄膜 , 热壁CVD , 沉积室内壁材料