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吴贤勇 , 付晓明 , 夏钟福 , 安振连 , 张鹏锋 , 王丽 , 李军
功能材料
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.
关键词: 微型化 , 氮氧化硅驻极体 , 表面电导 , 电荷稳定性
沈莉莉 , 夏钟福 , 周涛 , 付晓明 , 张晓青
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.01.003
研究了化学表面处理对微型化的氮氧化硅膜电荷稳定性的影响,考察了表面处理对脱阱面电荷横向扩散的抑止作用.借助对微型化前后的样品在高温和高湿环境中的表面电位衰减测量的对比,研究了不同试剂的表面处理对微型化样品的电荷储存及其动态特性的影响.
关键词: 氮氧化硅驻极体 , 表面处理 , 微型化 , 电荷稳定性及其动态特性
