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脉冲高能量密度等离子体沉积氮化钛膜的结合强度

阎鹏勋 , 杨思泽 , 陈熙琛

金属学报

本文用脉冲高能量密度等离子体技术，在室温条件下，成功地在ＧＣｒ１５钢表面沉积了性能良好的氮化钛薄膜。用自动划痕试验仪测量了氮化钛薄膜的结合强度。研究结果表明：表征薄膜结合强度的临界载荷有相当高的值；氮化钛薄膜的临界载荷随脉冲轰击次数、内外电极的电压变化而变化。对沉积膜结合强度的这些变化给予了理论上的解释与讨论。

关键词: 脉冲等离子体 , TiN coating , adhesive strength