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热效应对注入纯铁的氮分布的影响

白彬 , 张鹏程 , 朱昊 , 邹觉生 , 陈元儒

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2001.01.006

研究了氮在常温（＜100°C）、150°C、250°C和3 50°C注入α-Fe后的深度分布，以及常温注入后再经150°C或250°C保温1h退火 后氮的深度分布和TEM组织分析，结合理论计算结果讨论了注入温度对氮分布的影响。结 果表明：氮分布特征取决于离子与基体原子级联碰撞的弹道式混合作用、基体对氮迁移的约 束作用和扩散作用。

关键词: 离子注入 , 温度 , 氮分布 , α-Fe