慕利娟
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朴云龙
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张晓平
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赵永刚
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魏斌
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曹必松
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江少林
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2006.02.009
本文研究了高温超导薄膜表面经氩离子不同程度刻蚀后其物理性能的变化,并采用离子刻蚀的方法设计制备了一个四节超导滤波器.YBa 2Cu 3O 7- x (YBCO)薄膜表面经氩离子适当厚度刻蚀后的测试结果表明,薄膜的零电阻超导临界温度 T c 随刻蚀时间适当的增加而提高,但过度刻蚀会带来电阻率的增大及转变宽度加宽.经SEM观测,刻蚀后薄膜表面的颗粒减少,趋于平整,通过XRD分析,离子刻蚀使薄膜晶格常数 c 发生了变化,同时测得超导薄膜的临界电流密度 J c 基本保持不变.这一工作表明氩离子刻蚀对薄膜的氧含量及氧分布有一定的调控作用,并能提高薄膜的平整度,而且用此工艺制备出的超导滤波器显示出良好的微波特性,各项指标均达到了设计要求.这些研究对高温超导薄膜在微波电路中的应用提供了有利的帮助.
关键词:
氩离子刻蚀
,
高温超导滤波器
,
零电阻Tc
