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检索条件：关键词=氩气流场
李进 , 张洪岩 , 高忙忙 , 周锐 , 薛子文 , 梁森 , 李国龙 , 李海波 , 何力军
人工晶体学报
大直径化是太阳能光伏用单晶硅发展的趋势之一.由于炉体结构的增大,炉内气体流场的变化对晶硅生长过程产生了一定的影响.本文采用CGSim晶体生长软件,系统分析了氩气进口流速对固液界面,热应力和晶体氧含量的影响.结果表明,随氩气流速的增加,固液界面高度逐渐下降,当氩气流速为中等范围时,固液界面波动最低,有...
关键词: 单晶硅 , 氩气流场 , 固液界面 , 氧含量
