赵桂荣
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赵高扬
功能材料
本研究采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2@(100-x)SiO2系薄膜,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性,发现了当x＞30时,这种凝胶薄膜在335nm附近有较强的吸收峰,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π-π*迁移.当紫外光照射薄膜后,随着含Zr螯合物的分解,吸收峰也消失,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化,表现出明显的感光特性.这种薄膜经400℃、30min热处理以后,薄膜中的有机物消失,可获得非晶质的ZrO2-SiO2系薄膜,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工.
关键词:
溶胶-凝胶法
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化学修饰
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微细加工
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吸光度
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氧化锆-氧化硅薄膜
