材料期刊网

高密度氧化铟锡(ITO)靶材制备工艺的研究进展

王松 , 谢明 , 王塞北 , 杨云峰 , 付作鑫

材料导报

ITO靶材是导电玻璃、LED、太阳能电池等行业的核心材料之一.综合评述了高密度ITO靶材的研究现状.介绍了ITO粉末的制备方法如机械混合法、喷雾热分解法、喷雾燃烧法、化学共沉淀法、金属醇盐水解法、水热合成法等以及ITO靶材的制备工艺.比较和分析了ITO粉体和靶材各制备工艺的优缺点.最后提出了制备高品质ITO靶材的研究方向.

关键词: 氧化铟锡靶材 , 高密度 , 制备