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反应磁控溅射沉积氧化铜薄膜及其电化学性能研究

刘震 , 吴锋 , 王芳

功能材料

以金属铜为靶材,氧气为反应气体,采用射频磁控溅射法在不同温度的不锈钢基片上制备了氧化铜薄膜电极.采用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的组成和形貌进行了表征分析.电化学测试表明,在基片温度为室温条件下沉积得到的薄膜电极比300℃基片温度沉积得到的薄膜电极首次放电容量高,达到785μAh/(cm2·μm),但循环100次后后者放电容量较高.用交流阻抗法测得锂离子在氧化铜薄膜中的扩散系数为2.46×10-15cm2/s.

关键词: 薄膜锂离子电池 , 氧化铜薄膜 , 磁控溅射

超疏水氧化铜薄膜的制备及表征

刘红芹 , 徐文国 , 王彦斌 , 卢士香

腐蚀与防护

采用氧化-脱水法在铜表面制备出具有新的阶层结构的CuO薄膜,用全氟辛基三氯甲硅烷(C8H4Cl3F13Si,FOTMS)对其进行表面修饰;利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射光谱(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和接触角测量等对超疏水表面的结构、形貌、表面元素组成与润湿等性能进行了表征和分析.结果表明,由CuO纳米管及纳米花组成的独特阶层结构和低表面能的有机结合使得铜表面具有超疏水性,接触角达156.3°,滑动角为2°.

关键词: 氧化铜薄膜 , 阶层结构 , 超疏水表面

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