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碳纳米管及其掺杂氧化物半导体气敏传感器

林毓韬 , 徐涛 , 柳清菊

功能材料

碳纳米管气敏传感器以其工作温度低和最低检出限较低等优点而备受关注,而碳纳米管掺杂氧化物半导体气敏传感器兼备了氧化物半导体气敏传感器和碳纳米管气敏传感器二者的优点,具有灵敏度较高、最低检出限低和工作温度低等特性。综述了这两类传感器的研究进展,介绍了其气敏机理,并对相应存在的问题及今后的发展趋势进行了概述。

关键词: 碳纳米管 , 氧化物半导体 , 掺杂 , 气敏传感器

氧化物半导体丙酮气敏传感器材料研究与应用

古彦飞 , 季惠明 , 张颖

材料导报

低浓度丙酮气体的检测在监测工业生产、食品质量、畜牧业和疾病等中有重要的作用.综述了近年来氧化物半导体丙酮气敏传感器材料的研究进展,并对传感器材料的形态、制备方法、敏感机理及存在的问题进行了分析,指出了发展方向.

关键词: 丙酮 , 气敏 , 氧化物半导体 , 传感器

新型氧化物半导体气敏传感器的研究进展

林毓韬 , 徐涛 , 程定峰 , 柳清菊

材料导报

空气质量日益恶化问题引起了人们的重视.为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品.综述了该类型新型传感器的研究进展,介绍了其气敏机理、结构和制作方法,并概述了其存在的问题及今后的发展趋势.

关键词: 氧化物半导体 , 掺杂 , 气敏传感器 , 灵敏度

离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究

初国强 , 王子君 , 刘星元 , 王立军

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.02.009

报道了采用离子辅助电子枪蒸发技术制备优质氧化锌透明导电膜的工艺和结果, 分析了源掺杂, 镀膜气氛, 衬底温度等参数与膜的电导率及透光特性的关系, 作出了电阻率低达2×10-3Ω*cm, 厚为400nm的膜的方块电阻为1×103Ω/□, 可见光透过率大于80%的优质透明导电膜。 实验表明氧离子辅助蒸发可增加氧化锌分子的能量, 提高其迁移率, 显著提高薄膜的致密程度; 氧离子能使分解的锌原子充分氧化; 离子轰击可平滑薄膜表面。 总之, 氧离子辅助蒸发在较低温度下形成优质氧化锌透明导电膜中起关键作用

关键词: 氧化锌 , 透明导电膜 , 离子辅助蒸发 , 电子束蒸发 , 氧化物半导体

柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展

郝晓涛 , 张德恒 , 马瑾 , 杨莺歌 , 王卿璞 , 程传福 , 田茂华 , 马洪磊

功能材料

回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜(包括锡掺杂的三氧化二ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等)的研究进展情况.报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系,给出了在此领域内应进一步进行的工作.

关键词: 柔性衬底 , 氧化物半导体 , 透明导电膜

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