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磁控溅射法在涤纶织物上制备氟碳薄膜

黄美林 , 狄剑锋 , 齐宏进

高分子材料科学与工程

用磁控溅射法在涤纶(PET)织物上制备纳米氟碳薄膜,研究了磁控溅射过程中不同PET织物布样、溅射功率、工作气压和基底温度对薄膜性能的影响.对氟碳膜的成膜组分进行了研究,并对溅射后的织物进行了拒水性能和抗紫外性能的测试和分析.

关键词: 磁控溅射 , 涤纶 , 聚四氟乙烯 , 氟碳薄膜