苏良碧
,
董永军
,
杨卫桥
,
周国清
,
周圣明
,
赵广军
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.01.019
采用导向温度梯度法(TGT)生长CaF2晶体,建立了生长炉内的垂直温度梯度场.研究表明影响晶体质量及光学性能的主要因素包括坩埚材料、温度场、生长程序及原料纯度等.从大量的实验中总结出TGT法生长高质量CaF2晶体的生长条件如下:石墨坩埚;轴向梯度≤2℃/mm;生长降温速率1.5～2.5℃/h;冷却速率≤40℃/h.
关键词:
氟化钙(CaF2)晶体
,
温度梯度法(TGT)
,
位错密度
,
透过率
苏良碧
,
杨卫桥
,
董永军
,
周圣明
,
周国清
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.05.015
随着深紫外光刻技术的发展,透光范围宽、透过率高的CaF2晶体成了人们关注的焦点,其尺寸和质量得到了不断的提高.结合CaF2的基本性质,综述了CaF2晶体的主要生长方法及存在的问题.从原料的纯化处理到晶体的光学加工,归纳总结了提高紫外级CaF2晶体的尺寸、质量和产率的有效措施.
关键词:
氟化钙(CaF2)晶体
,
紫外光刻
,
晶体生长
