彭观良
,
周圣明
,
周国清
,
李抒智
,
王银珍
,
邹军
,
苏凤莲
,
刘世良
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.002
本文采用导向温梯法(TGT)生长[0001]方向的白宝石晶体,利用气相传输平衡(VTE)技术对晶体表面进行处理,发现双面抛光的C面白宝石晶片高温下与富锂(Li2O蒸气)气氛发生反应,表面生成一层γ-LiAlO2,随着VTE反应温度从750℃下降到730℃,γ-LiAlO2晶核的颗粒也随着减小,在730℃时已在1μm以下,经稀盐酸(HCl)腐蚀后形成多孔的表面,此方法有望制备出用于外延GaN的多孔衬底.
关键词:
白宝石
,
温梯法
,
气相传输平衡
,
多孔表面
,
GaN
,
多孔衬底
刘军芳
,
徐军
材料导报
采用气相传输平衡技术在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了粉料配比、VTE处理温度以及恒温时间对薄膜质量的影响.结果表明,在适当的粉料配比、VTE处理温度以及恒温时间下,在Sr2+:α-BBO晶片表层制备呈c轴高度择优取向的、没有第二相物质的β-BBO薄膜,其双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000",显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量.并对气相传输平衡技术制备β-BBO薄膜的机理进行了初步的探讨.
关键词:
气相传输平衡
,
β-BBO薄膜
,
Sr2+
,
α-BBO衬底
彭观良
,
李抒智
,
庄漪
,
邹军
,
王银珍
,
刘世良
,
周国清
,
周圣明
,
徐军
,
干福熹
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.05.014
采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素.要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的.对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差.并对其中可能的机理进行了探讨.
关键词:
白宝石
,
γ-LiAlO2
,
气相传输平衡
,
GaN
,
衬底
刘世良
,
李抒智
,
周圣明
,
王银珍
,
彭观良
,
徐军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.013
通过气相传输平衡法(VTE)制备了γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h.利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11-20)和γ面(1-102)均获得单相多晶的γ-LiAlO2,且后者的择优取向好于前者.腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果.退火后γ-LiAlO2颗粒质量得到改善,白宝石a面上γ-LiAlO2的质量优于r面上的γ-LiAlO2,两者都出现颗粒长大现象.
关键词:
γ-LiAlO2/α-Al2O3
,
复合衬底
,
气相传输平衡
,
腐蚀
,
退火
刘军芳
,
徐军
,
姚武
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.06.028
采用液相外延法、脉冲激光沉积法以及气相传输平衡法在Sr2+:α-BBO(001)衬底上生长了质量优异的β-BBO薄膜,对薄膜进行了X射线衍射测试以及双晶摇摆曲线分析,结果表明,采用Sr2+:α-BBO单晶作为衬底制备的β-BBO薄膜具有高的择优取向度和低的半峰宽值.同目前制备β-BBO薄膜所采用的其他衬底材料相比,Sr2+:α-BBO和β-BBO之间具有结构相似、透光范围匹配以及化学稳定性匹配的优点,表明Sr2+:α-BBO单晶将是生长β-BBO薄膜的优异衬底材料.
关键词:
Sr2+:α-BBO衬底
,
β-BBO薄膜
,
液相外延
,
脉冲激光沉积
,
气相传输平衡
