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测量薄膜折射率的几种方法

孙香冰 , 任诠 , 杨洪亮 , 冯林 , Y.T.Chow

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2005.01.002

准确的测量薄膜的折射率对于集成光学器件设计和制造有着重要的意义.系统而详细地介绍了多年来在折射率测量上经常采用的几种方法,分别对其原理和特点进行了分析.

关键词: 薄膜光学 , 折射率 , 聚合物薄膜 , 椭偏法 , 准波导