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基于柱状ZnO薄膜的超低阈值电压压敏电阻

季振国 , 黄东 , 席俊华 , 柯伟青 , 周荣富

材料科学与工程学报

利用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了基于柱状ZnO薄膜的Al-ZnO-Al三明治结构的超低阈值电压的压敏电阻.XRD和SEM测试结果表明,该压敏电阻中的ZnO薄膜层为结晶性能良好,并且沿ZnO的(002)晶面择优取向生长的柱状薄膜.Ⅰ-Ⅴ测试结果表明,这种由柱状ZnO薄膜构成的压敏电阻阈值电压仅3.2 V,为现有压敏电阻中阈值电压最低的压敏电阻.

关键词: 氧化锌 , 柱状薄膜 , 压敏电阻 , 超低阈值