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可用于沉积透明导电氧化物薄膜的柔性衬底研究进展

刘丹 , 黄友奇

材料导报

柔性衬底表面沉积TCO薄膜具有许多独特的优点且应用广泛.但柔性衬底存在不耐高温的缺点,如何选择合适的柔性衬底,在表面沉积TCO薄膜过程中至关重要.简单介绍了各种柔性衬底的相关性能,阐述了当前国内外在该领域中各柔性衬底的研究成果,展望了未来柔性衬底的选择及应用趋势.

关键词: 柔性衬底 , 透明导电氧化物薄膜 , 柔性透明导电氧化物薄膜

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