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微机械悬桥法研究氮化硅薄膜力学性能

宗登刚 , 王钻开 , 陆德仁 , 王聪和 , 陈刚

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.005

利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷-挠度曲线,来研究低应力 LPCVD氮化硅薄 膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式. 对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏 模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.低应力 LPCVD氮化硅薄膜的研究结果 :杨氏模量为 (308.4± 24.1) Gpa , 残余应力为 (252.9± 32.4 )Mpa, 弯曲强度为 (6.2± 1.3) Gpa.

关键词: 微机械 , 悬桥 , LPCVD , 氮化硅 , 杨氏模量 , 残余应力 , 弯曲强度

基于非完善界面单向纤维复合材料弹性模量预测与应力分析

邓志康 , 邓京兰 , 王继辉 , 黄志强

玻璃钢/复合材料

界面缺陷对复合材料的性能有着显著的影响,基于弹性力学以及能量原理基本理论,利用基于界面上应力连续而位移有一定突变的无厚度弹簧模型,对含界面缺陷的材料性能进行了探究.得出界面的非完善参数、纤维相体积分数对材料的纵向与横向弹性模量、泊松比以及应力的影响规律.并将计算结果与完善界面、开孔的经典结果以及实验数据进行了对比验证.计算结果表明,利用非完善界面参数预测含缺点界面的材料性能并进行应力分析比利用完善界面模型计算的结果更精确.

关键词: 界面缺陷 , 弹性体 , 非完善界面 , 杨氏模量 , 泊松比 , 能量法 , 数值分析

MSP试验法在陶瓷材料性能评价中的应用

熊智 , 江莞 , 王刚 , 施鹰

稀有金属材料与工程

利用MSP(Modifed Small Punch)试验法对几种常见的陶瓷材料进行了力学性能测试,分别得到它们的负载-位移曲线,从而获得曲线的线性段斜率以及MSP强度.实验结果证明,利用简便的MSP试验法可以较好的表征各种陶瓷材料的破坏行为,并且MSP负载-位移曲线的线性段斜率和杨氏模量成正比,而MSP强度和三点法弯曲强度也有很好的对应关系.利用这种关系得到经验公式,可以从测得的线性段斜率和MSP强度来评价杨氏模量和弯曲强度.

关键词: 陶瓷 , MSP试验法 , 强度 , 杨氏模量

聚酰胺非晶相弹性性质预测

邓旭辉 , 唐现琼 , 尹久仁 , 张为民 , 张平

高分子材料科学与工程

聚合物基复合材料宏观有效力学性质的确定需要复合材料中各个组分的基本力学性质.采用基于拓扑的关联指数法对11种典型聚酰胺非结晶相的体积模量、泊松比、杨氏模量、剪切模量等弹性性能进行了预测.结果表明,当温度从1K逐步增加到(T(g)-20)K时,体积模量、杨氏模量和剪切模量随温度的增加呈指数规律减小;而泊松比则呈线性增加.当温度在玻璃化温度T(g)附近(T(g)-20)

关键词: 聚酰胺 , 关联指数法 , 泊松比 , 体积模量 , 杨氏模量 , 剪切模量

硅超薄可动悬空薄膜的弹性模量测试分析

赵林林 , 徐晨 , 霍文晓 , 赵慧 , 杨道虹 , 沈光地

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.024

利用纳米硬度计通过对超薄悬空薄膜的弯曲试验来测定硅可动悬空薄膜的弹性模量.硅悬空薄膜采用各向异性湿法腐蚀自停止技术制备.纳米硬度计测试方法精确测量了硅悬空薄膜的弯曲形变.试验研究表明,尺寸为2mm×1μm的硅悬空薄膜的弹性模量平均值为152GPa,差异为3.9%-6.8%.

关键词: 微电子机械系统 , 振动薄膜 , 杨氏模量 , 纳米硬度计

c向蓝宝石单晶纳米压痕尺度效应研究

柯瑞 , 张宇民 , 周玉锋

人工晶体学报

本文以c向蓝宝石单晶为对象采用纳米压痕方法测试了不同载荷下蓝宝石单晶的硬度与杨氏模量.分析表明,当载荷P=25±2 mN时出现了第一次位移突变现象,且位移突变量与最大压入载荷无关;试样的硬度与杨氏模量值随着压入深度的增大而减小,呈现出明显的压痕尺度效应;利用Nix-Gao尺度效应模型对测试数据进行了拟合,最终得出试样的硬度值与杨氏模量为30.956 GPa与382.316 GPa,与前人分析结果符合程度较高,证明Nix-Gao模型适用于蓝宝石单晶纳米压痕测试尺度效应的模拟与分析.

关键词: 蓝宝石 , 纳米压痕 , 尺度效应 , 硬度 , 杨氏模量

PECVD法生长氮化硅薄膜及其微结构梁特性的研究

于映 , 张彤

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.01.009

采用化学气相沉积法(PECVD)在石英基片上制备氮化硅薄膜,应用MEMS工艺将氮化硅薄膜制作成双端固定的微结构梁,纳米压痕仪测量氮化硅薄膜的杨氏模量表明其值在136~172 Gpa之间,用曲率半径法测试薄膜的残余应力,并对微结构梁的弹性系数进行计算,结果表明弹性系数值在11.4 ~ 57 N/m.之间,根据实验所得弹性系数对微结构梁的驱动电压进行计算,其驱动电压在32.8 ~ 73V之间,微结构梁的实际驱动电压测得为34 ~ 60V.

关键词: 氮化硅薄膜 , 微结构梁 , 弹性系数 , 杨氏模量 , 残余应力

Q235钢杨氏弹性模量的研究

付建勋 , 李京社 , 汪春雷 , 朱经涛

材料导报

采用实验与模型计算相结合的方法,对Q235钢的杨氏弹性模量进行了研究,通过Gleeble 1500热模拟机对700~1400℃温度区间的杨氏弹性模量进行了测量,每100℃取1个测量值,通过拟舍得到连续曲线;1400℃至零强度温度(ZST)使用Tszeng模型计算,体现液相区的真实力学行为.将得到的杨氏模量结果运用于连铸二冷段的热力耦合模拟,得到的结果与实测结果一致.

关键词: 杨氏模量 , Gleeble , 热模拟机 , 零强度温度 , 热力耦合模拟

研究单壁碳纳米管杨氏模量的一种能量方法

吴永东 , 钟伟芳 , 梁以德

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2006.01.022

本文利用能量方法研究了单壁碳纳米管(single-walled carbon nanotubes, SWCNT)的杨氏模量.文中,首先采用分子力学理论得出了受轴向载荷作用下单壁碳纳米管的总势能;然后通过总势能与相应薄圆柱壳的应变能比较,推导出了单壁碳纳米管杨氏模量的计算公式.另外,从一系列碳纳米管杨氏模量的计算发现,本文研究结果与现有研究结果比较一致.

关键词: 单壁碳纳米管 , 杨氏模量 , 能量方法 , 薄圆柱壳

拉伸变形对电沉积镍镀层微观结构及力学性能的影响

马增胜 , 龙士国 , 王宝华 , 潘勇 , 周益春

材料保护

采用电沉积法在低碳钢基体上制备了韧性较好的镍镀层,并对镀镍钢带进行了拉伸试验.通过扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)分别对镍镀层变形前后的表面形貌和织构进行了研究.用纳米压痕的方法对拉伸变形前后的镍镀层样品进行了载荷-深度曲线的测试,并测量了电沉积镍镀层变形前后的硬度与杨氏模量.结果表明,拉伸变形后的镍镀层表面粗糙度变大,出现起皱,但并没有产生新的织构,只是原有织构的强度发生了变化,其硬度和杨氏模量都明显减小.对于同一样品,加不同载荷会导致不同的压痕深度,随深度的增加,测得的压痕硬度和样式模量也有明显降低.

关键词: 电沉积镍镀层 , 纳米压痕法 , 硬度 , 杨氏模量 , 微观形貌 , 力学性能

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