材料期刊网

适用于硅晶体多线切割的线切割液研制

熊次远 , 李庆忠 , 钱善华 , 闫俊霞

人工晶体学报

本文通过硅片旋转磨损试验模拟线切割过程,以评价切割液的切割性能.首先,通过对比试验选出线切割液的主要组份；接着,通过正交试验优化各组份的含量并得到最优配方；最后,在相同条件下将最优配方与某市场切割液进行比较.结果表明:自制最优配方切割液MRR为7820 nm/min,Ra为9.12 nm.与市场切割...

关键词: 硅片 , 多线切割 , 线切割液 , 材料去除率(MRR)