伦宁
,
徐红燕
,
李梅
,
孙海燕
,
崔得良
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.016
以ZnO纳米粉(平均粒径30 nm)和Al2O3纳米粉(平均粒径5 nm)为原料,利用传统的厚膜气敏传感器制备工艺制备了纯ZnO厚膜气敏传感器和掺杂Al2O3(掺杂量为2wt%和5wt%)的ZnO厚膜气敏传感器.对这三种厚膜传感器的本征电阻及对乙醇蒸汽的敏感特性进行了测试.结果表明:掺杂少量Al2O3纳米粉可明显降低ZnO气敏传感器的本征电阻,改善传感器的烧结性能,同时还可降低其最佳工作温度,提高器件对乙醇的灵敏度.结合厚膜气敏传感器的显微结构分析结果,对出现上述差异的原因进行了讨论.
关键词:
ZnO厚膜气敏传感器
,
Al2O3掺杂
,
本征电阻
,
灵敏度
徐红燕
,
刘秀琳
,
崔得良
,
李梅
,
王琪珑
,
蒋民华
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.025
以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了ZnO多孔纳米固体,同时用通常的水热法对ZnO纳米粉进行了预处理(预处理ZnO纳米粉).然后,分别以ZnO多孔纳米固体和预处理ZnO纳米粉为原料,制备了厚膜气敏传感器.本征电阻的测试结果表明,这两种厚膜气敏传感器的本征电阻比用未经处理的ZnO纳米粉(以下简称"原料ZnO纳米粉")制备的厚膜气敏传感器大大降低并很快达到稳定状态.有效地改善了器件工作的稳定性.结合对三种传感器的显微结构分析,对出现上述差异的原因进行了讨论.
关键词:
ZnO 多孔纳米固体
,
水热热压
,
水热处理
,
气敏传感器
,
本征电阻
徐红燕
,
王介强
,
胥海洲
,
于勤勤
,
崔得良
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.06.007
以ZnO纳米粉(平均粒径30 nm)和Fe2O3,纳米粉(平均粒径90 nm)为原料,利用传统的厚膜气敏传感器制备工艺,制备了纯ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器和掺杂Fe2O3(掺杂量为1wt%,2wt%和5wt%)的ZnO厚膜气敏传感器.分别测试了这四种厚膜气敏传感器的本征电阻(传感器在空气中的电阻值)及其对乙醇,汽油,丙酮,对二甲苯,氢气,甲烷和CO敏感特性.结果表明:当工作温度在较低时,Fe2O13,的掺杂可明显降低ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器的本征电阻,并提高其工作稳定性,而适量Fe2O3的掺杂可以提高ZnO多孔纳米固体厚膜气敏传感器对乙醇蒸气和汽油的灵敏度.结合对传感器厚膜的显微结构分析结果,我们对出现上述差异的原因进行了初步讨论.
关键词:
ZnO厚膜气敏传感器
,
Fe2O3掺杂
,
本征电阻
,
灵敏度