欢迎登录材料期刊网
吴永 , 王伟 , 刘晓瑞
中国有色金属学报
联系生产实际对西门子法三氯氢硅氢还原反应体系的反应做了归类分析,选用可靠适用的热力学基础数据,设计合理计算方案,计算分析16个反应在反应温度区及附近温度区的吉布斯自由能和标准平衡常数数值,利用反应耦合理论提供了将SiHCl3(g)+H2(g)=Si(s)+3HCl(g)作为主反应的热力学依据,确认该...
关键词: 反应工程 , 多晶硅 , 西门子法 , 三氯氢硅氢还原反应 , 化学气相沉积 , 热力学分析 , 本征动力学模型
