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王振平 , 赵俊斌 , 李勇 , 章士瀛
材料导报
表面层型半导体陶瓷电容器的开发成功,是我国新型元件领域中的一项高新技术及其产业化的突破.重点介绍了表面层型半导体陶瓷电容器的基本结构和原理.本项目开发创新成果:隧道式气氛烧结组合炉,还原气氛的获取,半导化及再氧化技术,工程中设计参数及氧化层厚度观察及量测技术等.
关键词: 表面层型 , 晶界层型 , 半导化(还原) , 再氧化
