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镍钛形状记忆合金薄膜的相变温度和力学性能

柳美荣 , 郭锦芳 , 米绪军 , 朱明

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.01.022

利用直流磁控溅射法溅射沉积了NiTi形状记忆合金薄膜, 对NiTi形状记忆合金薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应, 研究了550 ℃晶化热处理1 h后Ti-48.2% Ni薄膜的相变温度和力学性能. 研究结果表明, NiTi 薄膜550 ℃晶化热处理1 h后, 升温过程中发生M→A的相变, 而降温过程中则先发生A→R相变, 再发生R→M的相变. 薄膜的断裂强度随测试温度的升高而增大, 残余应变随温度的升高而减小, 当温度大于Af点时, 表现为超弹性.

关键词: 形状记忆合金 , 磁控溅射法 , NiTi薄膜 , 晶化热处理

NiTi形状记忆合金薄膜的相结构

柳美荣 , 郭锦芳 , 王小平

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.z1.066

采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜,采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应,研究了成分和晶化热处理对NiTi薄膜相结构的影响.结果表明,等原子比膜和富钛膜经相同晶化热处理后,相结构明显不同,前者相结构主要为B2相,后者则为B2+M相;且等原子比膜经过不同温度的晶化热处理后,随着温度的升高,M相和第二相也相应增多.

关键词: 形状记忆合金 , 磁控溅射法 , NiTi薄膜 , 晶化热处理

NiTi形状记忆薄膜的溅射制备及晶化热处理工艺

宫峰飞 , 王业宁 , 沈惠敏

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2001.04.010

用磁控溅射法制备了MiTi非晶薄膜.薄膜无形状记忆效应.研究了经不同晶化热处理后的形状记忆效应,获得的最佳晶化热处理条件为500～700℃范围内晶化0.5h.

关键词: NiTi形状记忆薄膜 , 溅射制备 , 晶化热处理

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