仲元昌
,
郭耿涛
,
贾年龙
,
赵贞贞
人工晶体学报
本文采用了数字PID与神经网络相融合的晶体生长炉温度测控方法,设计了生长晶体的PID神经网络温度控制器,并用FPGA(Field Programmable Gate Array)实现了PID神经网络的并行结构;神经网络采用符合32位IEEE754的单精度浮点数运算单元.理论分析和仿真结果表明:该PID神经网络温度控制器具有很高的控制精度和响应速度,有利于提高晶体生长炉的控温精度和加热效率.
关键词:
现场可编程门阵列
,
晶体生长炉
,
神经网络
,
浮点
袁长路
,
李杰
,
于旭东
,
束天和
,
汤平
,
程绪高
,
周伟
,
李留臣
人工晶体学报
本文主要介绍采用冷心放肩微量提拉法技术生长高质量大尺寸蓝宝石晶体的新型设备,由于晶体生长是在高温、高真空、籽晶升降与旋转平稳、晶体测重精准、功率稳定的状态下进行生长.所以我们配备了具有高冷却性能的腔体部件；大抽速,低反油率的高真空系统；无抖动、无爬行籽晶轴(俗称:籽晶热交换器)升降及旋转系统；高精度、高分辨率测重系统；稳定可靠的电控系统及电源加热系统.实验结果表明:设备简化的设计模式,不仅提高了工人的操作速度,操作更加简单,节约了劳动时间,提高了设备的利用率.优良的测重系统在早期晶种生长的好坏,有这很大的关系；解决晶体是否粘埚也起着很大的作用.电控系统对加热电源的稳定控制是能否生长高质量大尺寸晶体关键之一.
关键词:
蓝宝石
,
称重系统
,
KY泡生法
,
晶体生长炉
巩潇
,
倪屹
,
司继良
,
李留臣
人工晶体学报
在已有的三维温度梯度法(3DGF)蓝宝石晶体生长炉基础上,设计了一种双坩埚蓝宝石晶体生长炉.设计的三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉主要针对蓝宝石手机面板市场,将坩埚设计成长方体型,增加了材料利用率,并简化了晶体切割工艺.采用双坩埚技术,可进一步提高晶体的生产效率,节约能耗,降低成本.本设计的双坩埚3DGF蓝宝石晶体生长炉可单炉获得2个300 mm×100 mm× 100 mm的蓝宝石晶体.
关键词:
蓝宝石
,
晶体生长炉
,
三维立体温度梯度法
,
双坩埚
