张勤俭
,
张建华
,
李敏
,
张勤河
,
毕进子
,
张代林
,
任升峰
,
胡玉景
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2002.03.006
用无机盐先驱体,溶胶-凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2O3薄膜.用差热分析(DTA)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、二次离子质谱(SIMS)等手段对Al2O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析.结果表明:制备的薄膜完整,内部无明显的宏观缺陷;Al2O3晶粒均匀,主要物相为α-Al2O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散,有助于提高界面结合强度.
关键词:
无机盐先驱体
,
溶胶-凝胶法
,
Al2O3薄膜
,
界面
