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旋转镀膜铌靶材加工工艺研究

张国军 , 汪凯 , 李桂鹏 , 任晓

材料开发与应用

研究了靶材不同加工工艺的组织,通过多向锻造,在变形量为80％,热处理工艺为1 050℃×90 min,制得的靶材具有均匀的等轴晶组织,晶粒尺寸40-100 μm.

关键词: 旋转镀膜铌靶材 , 工艺控制 , 晶粒尺寸