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新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究

张广军 , 顾冬红 , 李青会 , 干福熹 , 刘音诗

无机材料学报

利用磁控溅射法制备了新型AgInSbTe相变薄膜, 热处理前后的X射线衍射(XRD)表明了薄膜在热作用下从非晶态转变到晶态. 通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测定了不同升
温速率条件下的结晶峰温度, 计算了粉末的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子. 从结晶活化能E可以判断出新型AgInSbTe相变薄膜具有较高的结晶速度, 可以用于高速可擦重
写相变光盘.

关键词: 新型AgInSbTe相变薄膜 , crystallization kinetics , XRD , DSC

新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究

张广军 , 顾冬红 , 李青会 , 干福熹 , 刘音诗

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.037

利用磁控溅射法制备了新型AgInSbTe相变薄膜,热处理前后的X射线衍射(XRD)表明了薄膜在热作用下从非晶态转变到晶态.通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测定了不同升温速率条件下的结晶峰温度,计算了粉末的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子.从结晶活化能E可以判断出新型AgInSbTe相变薄膜具有较高的结晶速度,可以用于高速可擦重写相变光盘.

关键词: 新型AgInSbTe相变薄膜 , 结晶动力学 , XRD , DSC

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