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DLC膜对NiTi合金表面性能的影响

隋解和 , 吴冶 , 王志学 , 蔡伟 , 赵连城

稀有金属材料与工程

采用新型等离子浸没离子注入和沉积(PⅢD)法以C2H2为等离子源对NiTi合金进行表面改性.利用Raman光谱分析膜层结构;采用纳米压痕和光电子能谱(XPS)分析涂层前后NiTi合金的表面力学性能和表面成分,利用电化学阻抗谱和动电极化测试涂层前后基体的耐腐蚀性能.结果表明:NiTi合金表面的膜层是DLC;经过PⅢD处理后,基体表面由原先的TiO2转变为DLC;纳米硬度和杨式模量得到提高;耐腐蚀性能获得明显改善.

关键词: 类金刚石 , NiTi形状记忆合金 , 新型等离子浸没离子注入和沉积 , 电化学阻抗谱 , 腐蚀行为

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