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斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其表面热生长氧化膜组织结构表征

朱圣龙 , 曹硕 , 李淑梅 , 张春刚 , 谢冬柏 , 王文 , 辛丽 , 王福会

腐蚀学报(英文) doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2008.02.002

研究了1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上斜入射溅射Ni-7Cr-8Al涂层及其在 10000℃空气中形成的氧化膜的组织结构.涂层采用 Ni-7Cr-8Al 合金靶磁控溅射方法制备.沉积过程中样品静止不动,名义入射角分别为0°和45°.这两种样品在本文中分别称为正入射和斜入射沉积涂层.研究结果表明:两种...

关键词: 斜入射磁控溅射 , Ni-Cr-Al , 氧化膜

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