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陈劲松
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.06.021
数字掩模技术的核心器件是数字微镜芯片,它具有较高的分辨率和灰度等级等优点.利用计算机辅助设计绘制的掩模图形经IO口输入到数字微镜芯片中的SRAM,从而控制无数多个微小镜片的翻转,实现掩模图形的数字化输出.结合高倍精缩投影系统,可快速实现图形转印.为进一步说明该技术的可行性,进行了实验验证.由于实验条件的限制,文中仅实现了2.2 μm最小线宽的制作.利用该技术成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和菲涅尔透镜.
关键词: 数字微镜 , 数字掩模 , 衍射光学元件 , 空间光调制器
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.021
数字化掩模制作系统的核心控制部件是数字微镜.文中系统分析了数字微镜控制系统对数字化掩模制作系统精度的影响.指出误差来源主要为数字微镜帧刷新率、像素黑栅效应、像素量化和调制非线性等因素,并分别提出了相应的误差修正或补偿方法.提高系统的精缩倍数、像素分辨率以及占空比,可以降低这些误差来源的影响.
关键词: 数字微镜 , 衍射光学元件 , 掩模 , 误差分析
