黄元盛
,
邱万奇
,
罗承萍
,
黄彩娥
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2006.01.033
为了提高金刚石膜/基附着力,通过氧辅助使高温钨丝蒸发,在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨,从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能.结果表明,碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中.碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降,但是适当的碳钨化合物能使膜/基附着力性能得到较大提高.当氧气通入量为1.2sccm时,膜/基附着力性能最好.
关键词:
改性金剐石膜
,
化学气相沉积
,
碳钨化合物
,
附着力性能
,
氧气
