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PVP添加剂改善溶胶-凝胶法制备BST薄膜表面结构及介电性能

张佳 , 廖家轩 , 潘笑风 , 王洪全 , 傅向军 , 魏雄邦

硅酸盐通报

以聚乙烯吡咯烷酮(polyvinyl pyrrolidone, PVP)为添加剂采用改善的溶胶凝胶法制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,并采用扫描电镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的表面结构与介电性能.结果表明:PVP显著改善了BST薄膜的表面形貌,当PVP∶ Ti的物质的量比为0.7%时,BST薄膜表面形貌最佳,光滑致密无裂纹无缩孔.X射线光电子能谱(XPS)表明,PVP有助于减少BST薄膜表面非钙钛矿结构.介电性能测试表明,在40 V外加电压下BST薄膜的介电调谐率达45%,零偏压下的介电损耗低于0.02.另外,对PVP的作用机理进行了讨论.

关键词: 改善溶胶凝胶法 , 钛酸锶钡薄膜 , 聚乙烯吡咯烷酮(PVP) , 介电性能

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