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掺Gd-CdTe薄膜的XPS研究

安晓晖 , 李蓉萍 , 田磊 , 何志刚 , 吴蓉 , 李忠贤

稀土

应用双源法真空蒸发制备掺Gd的CdTe薄膜,并借助XPS对其进行组份分析.实验表明,Gd掺杂的CdTe薄膜的组分为Cd、Te、O、C、Gd等元素,其中C、O主要以物理吸附方式存在于薄膜表面;Cd、Te元素的存在方式为CdTe化合物及其氧化物形式;而Gd元素由于碳污染的原因在其表面未曾出现,只在刻蚀过程中出现;深度剥蚀分析表明在样品内部Cd元素的含量大于Te元素的含量,且接近于1∶0.8,趋于稳定.

关键词: 真空蒸发 , 掺Gd-CdTe 薄膜 , XPS , 成分

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