陈光羽
,
何延如
,
雷志芳
,
谷士斌
,
赵冠超
,
杨荣
,
孟原
,
郭铁
,
李立伟
人工晶体学报
采用磁控溅射结合酸腐蚀法制备掺铝氧化锌透明导电氧化物薄膜,研究关键溅射工艺参数对AZO薄膜腐蚀后性能的影响.研究发现,在较低沉积温度和较大溅射压强条件下,样品腐蚀后可以形成粗糙度和雾度更大的表面形貌,有利于提高电池性能；而溅射功率增加,虽然能提升样品腐蚀后的粗糙度,但雾度的增加则呈现饱和趋势.将具有优良光电性能、不同雾度的AZO薄膜作为前电极制备非晶/微晶硅薄膜双结太阳能电池,发现雾度越大,电池的短路电流密度越大,特别是底电池电流密度越大,从而电池的光电转换效率也获得提高.这一发现有助于通过优化溅射工艺参数来改进AZO薄膜表面形貌和电池性能.
关键词:
掺铝氧化锌薄膜
,
磁控溅射
,
粗糙度
,
短路电流密度
钟志有
,
顾锦华
人工晶体学报
以ZnAl2O4陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜,通过XRD、SEM、四探针仪和分光光度计等测试,研究了沉积温度对薄膜结构、形貌、力学和光电性能的影响.结果表明:ZAO具有(002)择优取向的六角纤锌矿结构,沉积温度对薄膜性能具有明显影响,当温度位于370～ 400℃区间时,薄膜的结晶质量较好、电阻率较低、可见光波段的平均透射率较高,其品质因数大于1.20×10-2S,具有良好的光电综合性能.同时基于透射光谱计算了ZAO薄膜的光学常数,并用有效单振子理论解释了薄膜的折射率色散关系.
关键词:
掺铝氧化锌薄膜
,
磁控溅射
,
微观结构
,
光电性能
苏达根
,
罗为
,
钟明峰
电镀与涂饰
采用溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌(ZAO)薄膜,用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光-近红外分光光度计等分析测试手段对薄膜进行了表征;通过正交试验探讨了镀膜层数、溶胶浓度、铝离子的摩尔分数以及退火温度等因素时掺铝氧化锌(ZAO)薄膜近红外反射率的影响,优选了制备具有高近红外反射率的薄膜的工艺参数.研究结果表明,当溶胶浓度为0.9mol/L,Al3+的摩尔分数为0.8%,退火温度为500℃,镀膜层数为15层时,所得薄膜样品的近红外平均反射率达到35.73%,最高反射率达到46.99%,在2 000 nm附近的最高近红外反射率达到40.38%.
关键词:
掺铝氧化锌薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
近红外反射率
,
隔热
郜小勇
,
林清耿
,
冯红亮
,
陈永生
,
杨仕娥
,
谷锦华
,
卢景霄
功能材料
采用氯化铵(NH4Cl)溶液对磁控溅射技术制备的掺铝氧化锌(AZO)薄膜进行表面织构,并对其表面织构机制进行研究.研究结果表明NH4Cl溶液优先与间隙锌、间隙铝等缺陷和晶界处的堆积铝反应,而较大的相对应力和稀疏表面有助于间隙锌、间隙铝等缺陷和堆积铝的形成.它们对NH4Cl对AZO薄膜的表面织构很关键.
关键词:
氯化铵
,
掺铝氧化锌薄膜
,
表面织构
张天宝
,
李金培
影像科学与光化学
本文采用光助溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜.研究了紫外光照射对薄膜导电性和透光性质的影响.结果表明:光照使薄膜的导电性显著提高,且光照后薄膜方阻的降低幅度随薄膜晶粒尺寸的减小而逐渐增加;而随着紫外光照射时间延长,薄膜的紫外吸收边蓝移,近红外区透光率降低.以上实验现象可能与表面吸附氧解吸引起的载流子浓度增加、迁移率升高以及分层退火处理形成的薄膜结构有关.
关键词:
掺铝氧化锌薄膜
,
紫外光照射
,
溶胶-凝胶
