于春杭
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邵红红
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许晓静
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翟瑞
材料研究学报
采用室温直流反应磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备掺钽TiO2薄膜,研究了掺Ta量对纳米晶体钛基TiO2薄膜摩擦磨损性能的影响。结果表明：在室温模拟人体体液条件下,掺钽TiO2薄膜与不锈钢淬火钢球（Φ4mm）对摩的磨损率为10^-6-10^-5mm^3·m^-1 N^-1级;随着Ta含量的增加,薄膜的摩擦系数和磨损率呈先减小后增加的趋势,掺Ta量（质量分数）为22%Ta的TiO2薄膜具有最低的摩擦系数（0.20）和磨损率（1.5×10^-6mm^3·m^-1·N^-1）。具有良好的抗磨性能与其硬度与弹性模量比高、抗腐蚀性强和摩擦系数低一致。
关键词:
材料表面与界面
,
掺钽TiO_2薄膜
,
磁控溅射
,
纳米晶体钛
,
摩擦磨损
