材料期刊网

非晶态Se及掺杂Sb的Se薄膜晶化特性研究

叶水驰 , 鲍海飞 , 蓝慕杰

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.01.015

利用光学显微镜和X射线衍射技术,分析了非晶态Se和掺杂Sb的Se薄膜的晶化特性.Se薄膜由于保存周期不同以及Sb掺杂到Se中的Sb含量的多少都会影响Se的晶化特性;在热处理下薄膜的晶化呈现各向异性的择优生长.分析了晶化过程中微裂纹的产生,晶界的产生和体积收缩.薄膜与衬底之间的热应力是产生微裂纹的主要因素.

关键词: Se薄膜 , 掺杂Sb的Se薄膜 , 晶化 , 微裂纹