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液晶/聚合物显示器件中的聚合物栅和墙结构

才勇 , 关海平 , 宣丽 , 黄锡珉

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.04.006

采用向列相液晶和在光照下可发生相分离的预聚物单体组成的混合物, 分别应用掩膜版法和光刻电极图形法制作的夹层结构液晶盒, 在不同条件下经紫外光辐照发生相分离, 形成聚合物栅和墙结构.系统研究了不同的单体种类、单体含量、 UV光强、聚合温度对聚合物栅和墙结构的影响, 比较了两种方法形成的栅和墙结构的效果.最后给出作为光学衍射器件使用的衍射效果.

关键词: 掩膜版 , 光刻 , 相分离 , 聚合 , 光栅

CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用

冯克勤

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2003.03.014

CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀.将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力.

关键词: 平板显示 , 荫罩 , 光刻 , 精细腐蚀 , 掩膜版

硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试

蒋庄德 , 赵玉龙

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.008

硅微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器.进一步研制小体积高精度的传感器,扩大其应用范围已势在必行.本工作主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果.

关键词: 微压力传感器 , 掩膜版 , 设计

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