欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(7)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

TiN薄膜表面离子注入层微观结构的分析研究

郭德亮 , 陶冶 , 胡智杰 , 梁旺胜

物理测试

利用磁过滤阴极电弧镀分别在硬质合金和高速钢基体上沉积厚度约2~3μm的TiN薄膜,并用MEVVA源离子注入装置对TiN薄膜注入金属离子V+和Nb+.应用北京同步辐射装置(BSRF)的同步辐射光源,采用掠入射X射线衍射(GIXRD)的方法对TiN薄膜表面离子注入层的微观结构进行了分析研究.结果表明:未经过离子注入的TiN薄膜均存在特定方向的择优取向,而较小剂量(1×10(17)ions/c㎡)的离子注入可以使晶粒细化、择优取向减弱或改变;当离子注入的剂量达到5×10(17)ions/c㎡时,TiN薄膜表面离子注入层被非晶化.结合透射电镜的研究结果,观察到TiN薄膜表面非晶层的厚度约为50~100nm,并简要地讨论了离子注入过程对微观结构的影响机制.

关键词: 同步辐射 , 掠入射X射线衍射 , 离子注入 , TiN薄膜 , 微观结构

6H-SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征

孙柏 , 李锐鹏 , 赵朝阳 , 徐彭寿 , 张国斌 , 潘国强 , 陈秀芳 , 徐现刚

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.04.024

利用脉冲激光淀积(PLD)技术在6H-SiC单晶衬底上制备了ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD),反射式高能电子衍射(RHEED)和同步辐射掠入射X射线衍射(SRGID)φ扫描等实验技术研究了ZnO薄膜的结构.结果表明:在单晶6H-SiC衬底上制备的ZnO薄膜已经达到单晶水平,不同入射角的SRGID结果,显示了ZnO薄膜内部不同深度处α方向的晶格弛豫是不一致的,从接近衬底界面处到薄膜的中间部分再到薄膜的表面处,α方向的晶格常数分别为0.3264、0.3272和0.3223nm.通过计算得到ZnO薄膜的泊松比为0.504,ZnO薄膜与单晶6H-SiC衬底在平行丁衬底表面α轴方向的实际晶格失配度为5.84%.

关键词: 脉冲激光淀积 , 氧化锌 , 碳化硅 , 掠入射X射线衍射

高稳定性(EDA)(FA)2[Pb3I10]层状钙钛矿薄膜的制备与表征

高延敏 , 姜文龙 , 杨铁莹 , 左银泽

无机材料学报 doi:10.15541/jim20160156

为了提高钙钛矿太阳能电池在潮湿环境中的稳定性,采用一步法,通过在DMF中混合(EDA)I2、(FA)I和PbI2,将乙二胺离子引入钙钛矿晶格,成功制备了一种具有较高稳定性的二维片层状的钙钛矿结构薄膜.通过原位掠入射X射线衍射(GIXRD)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)和原子力显微镜(AFM)等方法检测分析(EDA)(FA)2[Pb3I10]在低湿度及高湿度环境下的结构、形貌以及光学性能变化.结果表明:制备的(EDA)(FA)2[Pb3I10]薄膜在相同湿度环境下比当前广泛应用于钙钛矿太阳能电池的甲胺铅碘薄膜(CH3NH3PbI3)稳定性更高;薄膜的光学带隙约为1.67 eV,与太阳能电池最佳带隙比较接近.另外,(EDA)(FA)2[Pb3I10]薄膜在可见光范围吸光性能较好;薄膜的粗糙度很小,适合制备太阳能电池,而且,成本较硅基太阳能电池低廉,在分子水平较CH3NH3PbI3的可调谐性更大,使钙钛矿太阳能电池在未来大面积应用成为可能.

关键词: 一步法 , 钙钛矿 , 掠入射X射线衍射 , 乙二胺甲脒铅碘

ZnO/GO纳米材料基热稳定钙钛矿太阳能电池

姜文龙 , 周伟 , 应纪飞 , 杨铁莹 , 高延敏

无机材料学报 doi:10.15541/jim20160218

为了使钙钛矿太阳能电池在高温退火后能够保持稳定,本研究通过电化学方法制备出氧化锌/氧化石墨烯纳米粒子,并将其运用到钙钛矿太阳能电池中作为电子传输层使用.通过原位掠入射X射线衍射(GIXRD)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)等方法对沉积在氧化锌和氧化锌/氧化石墨烯纳米材料上面的甲胺铅碘的结构、形貌以及电池性能变化进行分析测试.结果表明:氧化锌/氧化石墨烯对于甲胺铅碘有保护作用,沉积在氧化锌/氧化石墨烯上面的甲胺铅碘薄膜稳定性更高,电池性能更加稳定,为将来大面积应用提供了一定的指导.

关键词: 掠入射X射线衍射 , 氧化锌/氧化石墨烯 , 钙钛矿 , 电子传输层

X射线掠入射法测定金刚石薄膜厚度的研究

方建锋 , 唐伟忠 , 张晋远 , 郑毅

物理测试

本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法。导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系,发现该直线的斜率即为薄膜的线吸收系数与其厚度的乘积。对WCCo硬质合金上的金刚石薄膜厚度进行了测定,并对该方法的重复性进行了验证。结果表明,InIr与f(r)之间的具有很好的线性相关性,而且该方法具有较好的精确性。

关键词: 掠入射X射线衍射 , diamond thin film , thickness determination

X射线掠入射法测定金刚石薄膜厚度的研究

方建锋 , 唐伟忠 , 张晋远 , 郑毅

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2007.04.003

本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法.导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系,发现该直线的斜率即为薄膜的线吸收系数与其厚度的乘积.对WC-Co硬质合金上的金刚石薄膜厚度进行了测定,并对该方法的重复性进行了验证.结果表明,InIr与f(r)之间的具有很好的线性相关性,而且该方法具有较好的精确性.

关键词: 掠入射X射线衍射 , 金刚石薄膜 , 厚度测定

TiN薄膜表面离子注入层微观结构的分析研究

郭德亮 陶冶 胡智杰 梁旺胜

物理测试

利用磁过滤阴极电弧镀分别在硬质合金和高速钢基体上沉积厚度约2~3μm的TiN薄膜,并用MEVVA源离子注入装置对TiN薄膜注入金属离子V+和Nb+。应用北京同步辐射装置(BSRF)的同步辐射光源,采用掠入射X射线衍射(GIXRD)的方法对TiN薄膜表面离子注入层的微观结构进行了分析研究。结果表明:未经过离子注入的TiN薄膜均存在特定方向的择优取向,而较小剂量(1×10ˇ17ions/cm2)的离子注入可以使晶粒细化、择优取向减弱或改变;当离子注入的剂量达到5×10ˇ17ions/cm2时,TiN薄膜表面离子注入层被非晶化。结合透射电镜的研究结果,观察到TiN薄膜表面非晶层的厚度约为50~100nm,并简要地讨论了离子注入过程对微观结构的影响机制。

关键词: 同步辐射 , grazing incidence X-ray diffraction , ion implantation , TiN films , microstructure

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词