孙丽
,
陈厚文
,
王蓉
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2003.02.001
在能量为3,5和7 keV的氩离子轰击下,对激冷Ni-50%Al(质量分数)合金薄膜进行减薄,用配备有超薄窗口能谱仪的高分辨电镜观察分析了减薄后洋品中两种合金相Ni2Al3和NiAl3的结构和成分变化.结果表明,在离子轰击下,合金相Ni2Al3和NiAl3的成分均有变化,Ni含量明显高于合金相化学配比.随着离子能量的降低,轰击后合金相中Ni含量增加.在3 keV氩离子轰击下两个相的含Ni量均高达87%(原子分数)左右,在离子轰击过程中初始的NiAl3相点阵结构未发生明显变化,而Ni2Al3的初始结构在3和5 keV氩离子轰击减薄后部分转变为体心立方结构.
关键词:
离子轰击
,
Ni2Al3
,
NiAl3
,
择优溅射
,
辐照感生成分变化
张竹林
,
张莱
稀有金属材料与工程
基于多元素靶溅射的Andersen-Sigmund关系式,在分析了大量的二、三元素合金溅射稳定态靶表面化学成分的变化之后,发现各元素之间表面结合能之比几乎与靶体化学成分无关.只要给各元素之间设定适当的表面结合能比,就可以很容易地计算出三元合金靶稳定态表面化学成分,至少对于用2keV氩离子轰击的Ag-Pd-Au三元合金靶系来说,其计算结果都与实验值一致.所分析的实验数据是在常温下取得的,所以可不考虑离子轰击诱发的Gibbs偏析,其结论很可能是多元合金靶溅射的一般规律.此外,由Galdikas等最近所提出的所谓择优溅射中的"基体效应"理论是无实验依据的.
关键词:
择优溅射
,
表面结合能
,
Andersen-Sigmund关系式
孙丽
,
陈厚文
,
王蓉
金属学报
在能量为3,5和7 keV的氩离子轰击下,对激冷Ni-50%Al(质量分数)合金薄膜进行减薄,用配备有超薄窗口能谱仪的高分辨电镜观察分析了减薄后样品中两种合金相Ni2Al3和NiAl3r结构和成分变化. 结果表明, 在离子轰击下,合金相Ni2Al3和NiAl3的成分均有变化, Ni含量明显高于合金相化学配比. 随着离子能量的降低,轰击后合金相中Ni含量增加. 在3 keV氩离子轰击下两个相的含Ni量均高达87%(原子分数)左右,在离子轰击过程中初始的NiAl3相点阵结构未发生明显变化,而Ni2Al3的初始结构在3和5 keV氩离子轰击减薄后部分转变为体心立方结构.
关键词:
离子轰击
,
null
,
null
,
null
