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3英寸SiC衬底无架行星式双面抛光运动学分析?

张鹏 , 冯显英 , 杨静芳

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.18.022

针对3英寸SiC衬底的精密抛光加工,设计了其无架行星式适应性双面抛光机构的几何模型.推导了抛光垫上任一点磨粒 A 相对 SiC 衬底的运动轨迹方程.利用C＃和Matlab 联合仿真对太阳轮、行星轮、齿圈以及抛光盘转速和运动轨迹的曲率等工艺参数进行了分析.基于 ADAMS 工具,进行了双面抛光的运动学...

关键词: 行星差动轮系 , 抛光轨迹 , ADAMS , 3英寸碳化硅衬底