谭浚哲
,
肖定全
,
张青磊
,
吴家刚
,
朱基亮
,
朱建国
功能材料
利用Monte Carlo方法分别模拟了在SrTiO3基底上沉积MgO薄膜和在MgO基底上沉积SrTiO3薄膜.模拟中,选取与实验中薄膜生长相近的参数条件,引入了新的参数扩散势垒,得到了在晶格正失配(张应力)和负失配(压应力)下薄膜生长的形貌图以及薄膜粗糙度的变化曲线图,分析了张应力和压应力对薄膜生长形貌的影响.模拟结果与文献报道的外延薄膜生长模式的实验观察结果一致.
关键词:
Monte Carlo模拟
,
异质外延模拟
,
扩散势垒
,
薄膜生长
吴仲成
,
彭述明
,
杨茂年
,
龙兴贵
,
刘琼
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2004.01.007
采用有效介质理论,并考虑晶格驰豫的影响计算He原子在金属钒中的嵌入能,通过能量分析推测He原子在金属钒中可能的扩散路径和扩散势垒.计算结果表明,He原子在金属钒bcc结构的四面体间隙位置有能量的最低点,为4.37 eV,在八面体间隙位置嵌入能比四面体间隙位置的稍大,He原子在金属钒的bcc结构中最有可能在(100)面内沿着由位置(1,1/4,1/2),(1,1/2,1/2),(1,3/4,1/2)联成的直线(或其等价晶面相应联线)向外扩散.
关键词:
钒
,
He原子
,
有效介质理论
,
弛豫
,
嵌入能
,
扩散势垒
