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面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计

黄杰西 , 李修函 , 于晓梅

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.046

微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化.本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构.基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%.

关键词: 微泵 , 扩散/收缩泵 , 扩散/收缩管 , 鳞片