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磁控共溅射Al-Pb合金薄膜中固溶度的扩展

郭中正 , 孙勇 , 李玉阁 , 周铖 , 彭明军

材料导报

利用磁控共溅射法在液氮冷却的衬底(LNCs)上制备了Al-Pb合金薄膜,运用EDX、XRD、TEM和SEM对薄膜成分、结构及形貌进行了研究.结果表明,Al-Pb薄膜在Pb含量为7.38%～2.73%(原子分数,下同)的宽范围内,均存在Al在Pb中的fcc Pb(Al)亚稳过饱和置换固溶体,固溶度与膜...

关键词: Al-Pb合金薄膜 , 亚稳固溶体 , 扩展固溶度 , 磁控共溅射