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衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展

王必本 , 王万录 , 廖克俊 , 肖金龙

材料导报

综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题.

关键词: 衬底负偏压 , 成核机制 , 金刚石膜