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感应耦合辅助磁控溅射氧化锌薄膜在铜铟硒薄膜太阳能电池中的界面

江贵生 , 张杰

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.04.019

结界面.

关键词: 氧化锌薄膜 , 感应耦合等离子磁控溅射 , 界面研究