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快中子辐照CZ-Si的FTIR分析

杨帅 , 马巧云 , 刘铁驹 , 李养贤 , 李永章 , 牛胜利 , 李洪涛 , 牛萍娟

功能材料

应用FTIR技术研究了不同剂量(1×1017~1.17×1019n/cm2)快中子辐照直拉硅(CZ-Si)的辐照缺陷和间隙氧在不同温度热处理时的行为.发现随辐照剂量的增加未退火的样品的间隙氧含量迅速下降,并且间隙氧的下降明显分为3个阶段.FTIR谱表明快中子辐照后主要的辐照缺陷为VO(829 cm-1)复合体.在低温条件下热处理300℃829cm-1(VO)开始消失并出现了825 cm-1(V2O2)、833cm-1(V3O2)、和840cm-1(V2O)和919cm-1(I2O2)四个红外吸收峰,退火温度升高到500℃后只剩下了825cm-1和919cm-1两个缺陷-杂质复合体的红外吸收峰.高温1100℃0.5h辐照引入的缺陷-杂质复合体很快的被消除.延长退火时间辐照样品和未辐照样品的间隙氧沉淀速度有很大的不同.

关键词: 快中子辐照 , 辐照缺陷 , VO , FTIR

快中子辐照直拉硅中V2的FTIR研究

辛少波 , 梁小平 , 徐学文 , 王小会

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2006.05.033

通过傅立叶红外光谱仪(FFIR)技术研究了由快中子辐照直拉硅中引入的辐照缺陷--双空位(V2)退火行为,主要研究了不同中子辐照剂量对双空位的影响.实验结果表明:随辐照剂量的增加双空位缺陷的浓度并不会无限地增加;间隙氧原子很容易与双空位缺陷结合形成比较稳定的空位-氧复合体,当退火温度超过200℃,双空位吸收峰消失.

关键词: 直拉硅 , 快中子辐照 , 退火 , 双空位

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