许宝建
,
金庆辉
,
赵建龙
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.004
采用光刻胶SU-8的光刻成型技术和"多次光刻、一次显影"工艺制备了基于三层SU-8结构的微喷阵列芯片,重点研究了SU-8胶工艺过程中平整度、温度和曝光剂量对多层微结构的影响,解决了芯片结构有裂纹、发生破裂和喷孔堵塞等问题.利用O2等离子体处理了芯片微管道内表面,使液体样品在进样后能够进行自动传输、分配和贮存.持续10ms的10kPa气压驱动下,该芯片可以在3.4mm×3.4mm的尼龙膜上制成5×5样品微阵列,25个点直径平均值为384μm,变异系数为2.6%.利用该芯片制成的DNA微阵列的信号强度变异系数达到4.5%,直径大小变异系数达到3.2%,符合生物微阵列分析的要求.
关键词:
SU-8光刻胶
,
微喷阵列芯片
,
微阵列
,
表面处理
包兴臻
,
梁静秋
,
梁中翥
,
田超
,
秦余欣
,
王维彪
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20132805.0726
LED微阵列器件具有体积小、分辨率高、寿命长及耗能低等突出特点.出光效率是该器件的一项重要参数,文中对以AlGaInP外延片为基片的LED微阵列器件的出光效率进行了理论及实验研究.器件的像素周期设计为100 μm×100μm,发光单元间的上隔离沟槽宽度为20 μm、深度为25 μm,将在600～650 nm波段具有高反射率的均匀掺单晶硅纳米颗粒的聚酰亚胺作为复合材料来填充上隔离沟槽,将侧面出射的光反射到上表面,实现了相邻两个发光单元之间的光学和电学隔离.分析计算表明,通过填充硅纳米颗粒/聚酰亚胺复合膜材料,使每个发光单元侧面出射光的16.695％反射回窗口层,提高了出光效率.这项研究将有助于提高LED微阵列器件的出光效率.
关键词:
聚酰亚胺复合膜
,
出光效率
,
反射率
,
微阵列
